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塑料薄膜衬底上复合敏感膜热释电传感器的制备

信息来源: http://ggbsw.com  时间:2016/10/21 9:16:29 

二氧化碳传感器.jpg

为提高热释电探测器和集成阵列的探测灵敏度,必须选择高质量的敏感膜和采用热绝缘良好的衬底。提高热释电敏感膜的热释电系数和降低其介电损耗,以及降低敏感元件的热导可非常有效地提高热释电传感器的电压响应、降低传感器的热噪声,从而有效地提高传感器的探测率。将Sol-Gel法制备的掺钙钛酸镧铅纳米粉粒(PCLT)与聚偏氟乙烯-三氟乙烯(P(VDF-TrFE)均匀复合,作为热释电传感器的敏感膜,比同样制备条件的纯聚偏氟乙烯-三氟乙烯膜的探测优值高约22.4%。并以沉积有35nmITO薄膜的廉价PET塑料为衬底,用旋转涂膜法沉积PCLT/P(VDF-TrFE)复合敏感膜,用Ni-Cr薄膜作上电极,制备了PCLT/P(VDF-TrFE)/PET热释电传感器。PET塑料可有效降低热释电元件的热导,下电极ITO可反射红外辐射,明显提高了传感器的电压响应和降低热释电元件的热噪声。测试结果表明,PCLT/P(VDF-TrFE)/PET热释电传感器的探测率达到3.4×107cmHz1/2W-1,比同样制备条件的体硅衬底传感器高2个数量级以上。

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